一、 部分参数要求

1 ．为防止损坏，最大允许流量变化值： 5.0SLPM/1.0Sec。
2．最大压降为 2.25″水的气流。
3．气体的微压差要小于 2 英寸水柱(小于5mBar)满量程。
4．正向气流方向被定义为从 P1 孔流向 P2 孔，并导致正的输出，不要施加超过10 磅的力在 2 个测量孔的每个方向上。
5．供电电压除 10.00±0.01VDC 外，不保证标定值。
6．线性误差适用于 2- 100%满量程，但不适用 0LPM 时零输出。

二、使用注意事宜

1．气流中的灰尘平行流过芯片表面，另外热迁移效应能移走微米级的粒子，使 在一些运用中可能存在的污染被减少，在我们的加速寿命实验中，在低于 50sccm 速度气流的典型工业环境下，气流质量传感器能达到 20 年的预测寿命。
2 ．由于灰尘附着在芯片边缘面引起的堵塞在低速下可以简单地使用过滤网彻 底解决，使用小格珊和高气流阻抗的过滤网可得到最佳的过滤效果，当大量 灰尘堆积在过滤网上时综合阻抗不会显著的变化，可采用一次性使用的 5 微 米格珊的过滤网。
3 ．5 微米过滤网必须加在微差传感器上。
4．信号处理电路最初预热所需时间最多 1 分钟。
5 ．AWM  传感器不能用于液体质量测量，当流过高速的液体流量时，传感器可 能会遭到破坏。
6 ．如果安装时， 相对于流量管的连接器被扭转， 将会破坏 O 形圈和流量管之间 的密封，引起暂时泄漏，可高达 1psi，也可能在指标内，换上新 O 形圈后， 密封恢复，大约 85%的泄漏在 24 小时内消除。