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森家大咖说 | MEMS微机电技术和传感器最强科普

来源: 本站 发布时间:2022-08-23

森萨塔科技的压力传感器根据压力量程主要分为低压、中压及高压三大类,低压传感器采用MEMS微机电技术,中压传感器采用APT陶瓷电容技术,高压传感器采用MSG玻璃微熔硅应变片技术





MEMS技术与产品


MEMS技术的主要优势有:


体积小,重量轻

量程小,小到几个kpa的压力

具有很高的精度

可以做出绝压、表压、压差,选择柔性高

更适合大批量和高效率的生产


MEMS产品是采用MEMS技术将感压单元和信号处理芯片集成在一个只有几毫米的MEMS芯片上,后期进行必要的封装而来。MEMS产品在我们的生活中随处可见,如电子血压计里面的感压单元,手机麦克风,数码相机的光学防抖所用的陀螺仪等。



   MEMS  

  产品应用  







MEMS测量压力的原理


MEMS测量压力的原理是在感压膜片上集成几个MEMS压敏电阻,这几个压敏电阻通过绑线实现与外部的电气连接,并组成一个惠斯通电桥。


惠斯通电桥


当压力作用在感压膜片上后,产生机械应力,使得桥臂电阻发生变化,并通过外部电路将这个微小的电压变化进行放大和处理,最终输出正比于压力的电压或者数字信号。


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MEMS工作原理



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